HIGH PURITY & SPECIALTY GASES
高纯气体及特种气体食品 · 医药 · 化工 · 电子
满足食品、医药、化工、电子领域的高纯气体现场供气及特种瓶装气体供应需求。可供品类参照国内电子特气主流产品体系组织,覆盖电子特气、前驱体、混合气体、工业普通气体与电子化学品五大类。
用于薄膜制造、刻蚀、掺杂、气相沉积与清洗等工艺。
溴化氢 HBr三氯化硼 BCl₃乙烯 C₂H₄丙烯 C₃H₆乙炔 C₂H₂一氧化碳 CO三氟化氮 NF₃六氟化硫 SF₆四氟甲烷 CF₄三氟甲烷 CHF₃六氟丁二烯 C₄F₆八氟丙烷 C₃F₈七氟异丁腈 C₄F₇N四氟化硅 SiF₄二氧化硫 SO₂二氟甲烷 CH₂F₂
薄膜沉积工艺(CVD / ALD)用关键前驱体材料。
五氯化钽 TaCl₅四氯化钛 TiCl₄四氯化硅 SiCl₄四氯化锆 ZrCl₄四氯化铪 HfCl₄四氟化锗 GeF₄五氯化钨 WCl₅二氯二氧化钼 MoO₂Cl₂氟化铟 InF₃氯化铟 InCl₃碘化亚铟 InI二碘硅烷 SiH₂I₂CCTBA 六羰基二钴 C₁₂H₁₀Co₂O₆
按工艺要求定制多元组分与配比精度。
硅烷/氮/氦/氩/氢混合气 SiH₄/N₂/He/Ar/H₂氟/氪/氖/氙/氩/氮混合气 F₂/Kr/Ne/Xe/Ar/N₂甲烷/氩气混合气 CH₄/Ar氩/氮混合气 Ar/N₂二氧化碳/氧/氮混合气 CO₂/O₂/N₂环氧乙烷/二氧化碳 EO/CO₂
半导体、集成电路产业大量使用的高纯大宗气体。
氧气 O₂氮气 N₂氩气 Ar二氧化碳 CO₂
清洗、刻蚀、光刻等工艺环节用电子化学品。
辛烷 C₈H₁₈1,2-二氯乙烯 C₂H₂Cl₂三乙胺 C₆H₁₅N
上述品类为可供产品范围示意,具体纯度、规格与包装以技术协议及供货合同为准。
高纯现场供气特种瓶装气电子特气前驱体混合气
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